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英国Edwards 是****的半导体、平板显示器、LED 和太阳能电池制造集成解决方案提供商，是工业、制药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用的真空技术***。ECKERLE泵
 

英国Edwards在**拥有约 3000 名员工，从事高科技真空和废气管理设备的设计、制造和支持工作。我们还依托国际化的销售和服务团队，提供其他广泛的泵技术和相关产品。
 

Edwards有限公司(Edwards Limited)是一家****的真空设备和尾气处理系统制造商及相关增值服务提供商，该公司今天推出了其STP-iXA4506大容量涡轮分子泵 (TMP)。这款产品旨在为半导体、平板显示器、LED和太阳能电池板制造商节省更多成本。
 

英国Edwards XDS 滚轴泵:在需要无油泵时，滚轴泵可出色地替代旋片泵。XDS 泵的抽速为 5、10 和 35 m3/hr，特别是采用了创新的轴承护罩，将真空环境与各种润滑剂隔离开，使之不*完全干燥， 而且保护轴承免受任何制程气体的影响。蒸汽处理通过可调气囊实现;这使该系列的泵能够应用于以前许多不能采用其他滚轴泵的应用场合。
 

E2M0.7 和 1.5 油封旋片泵小型 EM 系列泵是结实耐用的机械油封泵，抽速为 0.7 和 1.5 m3/hr。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备先进的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。
 

· 主要产品、小型湿泵和干泵、EXT 涡轮分子泵、测量与控制、真空阀、半导体泵、工业干泵、大型油封泵
 

一、EXT 涡轮泵

EXT 涡轮分子泵

Edwards EXT 涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。 EXT 使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承，可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作，同时将维护需求降至*低。
 

nEXT 涡轮分子泵

真空技术的***** Edwards 推出了 nEXT 涡轮分子泵。 nEXT 汲取成熟、可靠的 EXT 和 STP 系列(超过 200,000 台在实际运行)累积的十年经验，为科学涡轮泵树立了新的标杆。

nEXT 平台实现高度的模块化，为满足客户应用和需求提供了*大的灵活性。 每台泵都提供两种不同的内部配置，以实现不同的性能。
 

TAG 涡轮泵和有源真空计控制器

TAG(涡轮泵和有源真空计)控制器是小型、紧凑、低成本的泵送系统控制器，广泛适用于各种真空应用。它是 24V 控制器，兼容所有 Edwards DX 和 nEXT 涡轮泵。它不含电源。因此需要自备电源或购买选配电源供给。除了涡轮泵外，它还可控制前级泵、排气阀、空气冷却器和 Edwards 有源真空计。
 

涡轮泵车

T-Station 75 是 Edwards 新推出的入门级涡轮泵系统。它包括我们经过实践检验的 EXT75DX，搭配油封的 E2M1.5 前级泵或 XDD1 隔膜泵，适用于需要完全干燥的应用。

T-Station 使用新的 TAG(Turbo 和有源真空计)控制器作为标准配置，可实现系统通过单按钮启动/停止、可控制其中一个有源真空计*、排气阀控制*以及在真空计读数匹配时延时或降压启动，因此 T-Station 非常适合一般的实验室需求。

TIC 分子泵控制器

Edwards TIC 分子泵控制器是一种紧凑型涡轮泵控制器，可以安装在机架或工作台上，拥有清晰的大型图形显示屏、直观的用户界面和串行通信。通过全新的 Windows™ PC 程序，可以实现完全的远程控制和数据记录功能。TIC 分子泵与仪表控制器可以控制涡轮泵和*多三台 Edwards 真空计。所有仪表均能自动识别和支持。
 

二、小型湿/干泵

nXDS 滚轴泵

nXDS 泵在传统 XDS 泵的基础上进行改进，提高了抽速，降低了*限压力、功耗和噪音。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了*新的端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS 泵可完全进行现场维修。
 

nXDS-C 滚轴泵

确切地说，nXDS 泵是干式真空泵，和所有轴承及其碳氢化合物润滑剂一样，与真空环境是隔离的。 nXDS 泵适用于蒸汽处理制程，可用于某些涉及腐蚀性物质和微粒的泵送应用。 有关泵送易燃气体的信息，请与 Edwards 联系。
 

XDS 滚轴泵

在需要无油泵时，滚轴泵可出色地替代旋片泵。XDS 泵的抽速为 5、10 和 35 m3/hr，特别是采用了创新的轴承护罩，将真空环境与各种润滑剂隔离开，使之不* 完全干燥， 而且保护轴承免受任何制程气体的影响。蒸汽处理通过可调气囊实现;这使该系列的泵能够应用于以前许多不能采用其他滚轴泵的应用场合。
 

无气镇 (NGB) 滚轴泵

NGB 泵是标准的 NXDSXDS 泵，但去除了气镇功能。用于适合移除控制旋钮和机械装置的套件，以避免气镇意外开启。这样的应用示例包括稀有气体再循环和气体回收。

注：电源线必须单*订购，请参见产品目录了解相关的标准 NXDSXDS 泵所需的正确电源线。
 

E2M0.7 和 1.5 油封旋片泵

小型 EM 系列泵是结实耐用的机械油封泵，抽速为 0.7 和 1.5 m3/hr。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备先进的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。
 

RV 旋片泵

Edwards RV 系列油封旋片泵 功能****，同时具备高真空和高吞吐量性能，超低的噪音级别和**的气囊装置，使其成为广泛适用于各种应用和环境的理想产品。这些泵的抽速范围为 3 至 12 m3/hr。
 

EM18 和 28 油封旋片泵

中型 EM 系列泵是结实耐用的机械油封泵，抽速为 18 和 28 m3/hr。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备先进的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。
 

小型 ATEX 扩散泵

我们广受欢迎的 RV、E1M18 和 E2M18 可用于 ATEX 认可的电机，这些电机的 ATEX 外部分类为 IIB 或 IIC，内部分类为 Ex II 3G c IIB T4。
 

隔膜泵

Edwards 隔膜泵系列采用轻型、紧凑的设计，提供清洁的泵送功能，非常适合清洁的实验室应用。这种泵可以*立运行，也可以作为模块化系统的一部分运行，只需*少的维护工作。这些泵的抽速*高可达 2 m3/hr。

应用

分析仪器、电子扫描显微镜 - SEM、射束线和高能物理、涡轮分子前级泵、超高速离心机、覆层、低温学、脱气/硫化 - 油，环氧树脂、蒸馏/萃取/过滤、冷冻干燥、熔炉、凝胶体干燥、实验室工作台上真空、激光、气体回收和再循环、氦检漏仪、负载锁和传输腔、稀有气体再循环、稀有气体回收、冷冻制造、研发、旋转离心蒸发器、SEM/FIB(离子束维修)、溶剂回收、表面科学仪器